四甲基氫氧化銨(TMHA)是一種重要的有機堿，是硅橡膠、硅樹脂和硅油等有機硅產(chǎn)品合成中的催化劑；廣泛用于電子工業(yè)中，作為集成電路版的清洗、刻蝕、拋光試劑，也用于半導(dǎo)體微加工技術(shù)中的Si-SiO2界面各向異性腐蝕。電解—電滲析制備氫氧化四甲基銨的方法，在隔膜式電解槽中，采用四甲基銨鹽，包括氯化四甲基銨或碳酸氫四甲基銨或甲酸四甲基銨或乙酸四甲基銨等作為原料，不銹鋼或鎳或銅或銅汞合金和石墨電極作為陰極材料，石墨或鈦基體的釕或銥氧化物電極作為陽極材料，隔膜為陽離子膜，陰極區(qū)為0.1～0.5mol/L的氫氧化四甲基銨，陽極區(qū)為0.5～4mol/L的四甲基銨的鹽溶液，工作電流密度為500～4000A/m2，電解溫度為20～80℃，電解槽電壓為5～15V，經(jīng)過電解合成氫氧化四甲基銨粗品；氫氧化四甲基銨粗品通過電滲析精制為高純度的氫氧化四甲基銨，工藝為：采用隔膜式電解槽，不銹鋼或鎳或石墨電極作為陰極材料，石墨或鈦基體的釕或銥氧化物電極作為陽極材料，陰極區(qū)為純水，陽極區(qū)為氫氧化四甲基銨粗品，隔膜為陽離子膜，用100～1000A/m2的電流密度電解，可制備得到高純度的四甲基氫氧化銨。采用電滲析設(shè)備處理的方案，其工藝步驟為；(1)用泵循環(huán)的方式，將純水或濃度為0.1～0.5mol/L的氫氧化四甲基銨加入陰極區(qū)，濃度為0.5～4mol/L的四甲基銨鹽溶液加入陽極區(qū)。兩極區(qū)分別用泵循環(huán)；(2)電解過程中，控制陰極室和陽極室的電解液的溫度為20～80℃；(3)調(diào)節(jié)工作電流密度為500～4000A/m2，更合適的是1500～2500A/m2，反應(yīng)槽電壓為5～15V；(4)控制電解時間，當(dāng)陰極室TMHA濃度達到2～3mol/L時出料；(5)將電解好的陰極液進行減壓濃縮，可以得到不同濃度的產(chǎn)品，陽極室電解液可繼續(xù)電解；(6)精制方法是：陰極區(qū)加入純水，陽極區(qū)加入電解所得的粗產(chǎn)品，采用100～1000A/m2的電流密度電解，除去少量的氯離子等雜質(zhì)陰離子，可得到高純度的TMHA溶液。