一種用于再生離子交換劑的電滲析設備，更特別地講，涉及這樣一種用于再生這樣離子交換劑的方法與設備：該方法與設備在用來處理一塊片基(譬如一塊半導體晶片)表面的導電材料或者除去附著在該片基表面的雜質的電解處理中，能夠用電化學方法除去該電解過程中使用的離子交換劑內所吸收的金屬或其他離子，從而再生該離子交換劑。各類離子交換膜可用于反滲透和超過濾等分離方法中，例如它們在海水脫鹽和堿化水及工業(yè)廢液的凈化中得到了廣泛的應用。離子交換膜在工業(yè)上，例如在果汁和藥品等的溶液的濃縮中也得到許多應用。電滲析設備對于水壓法基本上是不滲透的而對于溶解的陽離子或陰離子，或者對兩者都是可滲透的，在燃料電池、使電解質電解的電解槽和電合成的電化槽中發(fā)現(xiàn)日益增長的應用。在安裝有生氫陰極并且用在鹽水電解的電解池中，通過彼此緊密接觸地設置陽 極、離子交換膜和生氫陰極，以降低電池電壓。但是，在大規(guī)模電解池中，其中陽極和陰極由 剛性材料制成，電解面積達到幾平方米，通過將兩個電極緊密接觸在離子交換膜上，幾乎不 能將電極間距離保持在規(guī)定值。彈性元件包括：由金屬線制成的編織物和織物；或通過堆疊織物而制備的結構； 或者通過三維編制織物，然后進行卷曲處理而制備的結構；以及由金屬纖維制成的非織物； 線圈跳簧（彈簧）；和片簧。各類設備中的部件近來都變得更加精細，并要求更高的精度。隨著亞微制造技術的普遍使用，材料的性質受到處理方法的極大影響。在這些情況下，在這種利用工具、采用物理方法來從工件的表面毀壞并除去它的希望部分的傳統(tǒng)制造方法中，可能產生大量使該工件性質惡化的缺陷。所以，進行不引起材料性質惡化的處理就變得非常重要。電滲析設備將液體供應到該隔板與該再生電極之間，而且也將液體供應到該隔板與該反電極之間；以及其中該隔板當該要被再生的離子交換劑為陽離子交換劑時是一種陽離子交換劑，而當該要被再生的離子交換劑為陰離子交換劑時則是一種陰離子交換劑。